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阀门分配箱的设计

发布时间:2021-11-03 | 游览:25

内容摘要:阀门分配箱(VMB)多用于特种气体的输送中。在半导体、光伏太阳能、IC芯片等生产领域,VMB广泛的应用于诸如磷烷、硼烷、硅烷、硫化氢、硫化氢、乙烯等易燃易爆、毒腐性气体的分配当中

阀门分配箱(VMB)多用于特种气体的输送中。在半导体、光伏太阳能、IC芯片等生产领域,VMB广泛的应用于诸如磷烷、硼烷、硅烷、硫化氢、硫化氢、乙烯等易燃易爆、毒腐性气体的分配当中。近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开国内市场。所以,阀门分配系统的应用会越来越广泛。

设计参考:

特气VMB应设计进气管路隔离阀及压力指示装置;气体之路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器、过流开关;气体的支路应设有独立的出口隔离阀;气体分支路应设置独立的吹扫气体装置、辅助抽真空装置等。

惰性气体方面,应设置进气管路隔离阀及压力指示装置;气体之路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器;气体支路应设有独立出口隔离阀门。

电子气体,尤其是带有危险性的特殊气体,是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料,它被称为电子工业的“血液”和“粮食”,它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。VMB的引入是特气一对多,点对面分支的核心单元。不但保证了多点用气,也最大限度的保证了用气安全。

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