发布时间:2019-08-24 | 游览:12746
产品名称 | 气体纯度 | 气瓶规格 | 阀门 | 充装量(Kg) | 保质期 |
CF4 | 99.999% | DOT47L | CGA580/CGA320/DISS716 | 32 | 2年 |
DOT440L | DISS716 | 300 | 2年 | ||
备注:可按客户要求定制包装规格 |
四氟化碳是一种无色、无臭、不燃的可压缩惰性气体。它是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
电子级四氟化碳技术指标:
包装容器:规格齐全,按客户要求配置。
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