随着半导体产业的蓬勃发展，特气设备越来越多的应用于IC芯片生产、镀层、实验室科研等项目中。很多用户在进行特气设备的规划时候，受限于气房空间、位置、需求等多方面要求而不能合理规划布局，遇到了很多问题，为日后的产品使用增加了风险和扩充难度。特种设备是指涉及生命安全、危险性较大的锅炉、压力容器（含气瓶，下同）、压力管道、电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施和场（厂）内专用机动车辆。其中，特气设备不仅涉及生命安全，其对环境、运行稳定性等要求都非常高。本文就绝大多数用户遇到的难题，结合规范做以较为标准化的布置建议。

特气设备：

特种设备是指涉及生命安全、危险性较大的锅炉、压力容器(含气瓶)、压力管道、电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施和场(厂)内专用机动车辆这八大类设备。为保障特种设备的安全运行，国家对各类特种设备，从生产、使用、检验检测三个环节都有严格规定，实行的是全过程的监督。据《2013-2017年中国特种设备检验检测行业市场前瞻与投资战略规划分析报告》统计，截至2011年底，全国特种设备综合性检验机构已达到545家，包括质检部门所属检验机构、行业检验机构及企业自检机构，另外还有型式试验机构、无损检测机构、气瓶检验机构等

特气设备属于特种设备的一大类，根据用户的实际用气种类和需求可能包含有：

GC 特气气瓶柜

GR 大宗or普通气瓶架

Local Scrubber 本地式废气处理柜（电加热+水洗复合型 可定制单功能）

VMB、VMP等各类气体分配设备

GP项目典型气瓶间

特气系统，尤其是集中供气系统引入国内的时间并不长，相应的设备、施工方法、经验多是从欧美等发达国家延伸而来。我们可以参考美国ASTM给出的相应标准，目前国内标准也在逐步完善当中。随着半导体行业如火如荼的发展，越来越多的特气设备也引入我们自己的生产线中，在多设备引入时建议不相容GR应布置在不同房间里，当由于条件所限布置在同一房间时，GR之间的距离应大于6M。同时具有可燃性和毒性的气体设备应该放置在可燃性气体间。GR、GC、Scrubber等设备宜靠墙布置，具有相同性质的设备应该布置在一起。特种气体房间内的中间通道宽度不得小于2M。GC与墙体之间的距离宜大于0.1M，GC之间距离宜大于0.1M。各类设备布置应该预留维修和运转空间。长管拖车、ISO标准集装瓶组等大型设备宜放置在室外空旷平地。

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